等離子表面刻蝕常用四氟化碳?
文章導(dǎo)讀:等離子表面刻蝕是等離子清洗機的一大功能,那么等離子清洗機實現(xiàn)刻蝕功能通常會用什么氣體?
等離子清洗機的功能主要包括清洗、活化、接枝(沉積)及刻蝕,實現(xiàn)這些功能除對放電方式和電極結(jié)構(gòu)有要求外,工藝氣體的選擇也是非常重要的,特別是等離子表面刻蝕功能。四氟化碳是實現(xiàn)刻蝕功能的一種常規(guī)氣體。
一、等離子刻蝕為什么常用四氟化碳
刻蝕通常又會被稱為蝕刻、咬蝕、凹蝕等,刻蝕作用是利用典型的氣體組合形成具有強烈蝕刻性的氣相等離子體與物體表面的有機物基體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成其他比如CO,CO2,H2O等氣體,從而達到蝕刻的目的。
實現(xiàn)刻蝕所使用的氣體大多為含氟氣體,應(yīng)用zui多的是四氟化碳。四氟化碳是一種無色無味的氣體,無毒、不燃,但在高濃度時具有麻醉作用,所以在工業(yè)應(yīng)用時儲存的容器為專用高壓氣瓶,所使用的減壓閥也為專用減壓閥。
四氟化碳在被等離子清洗機電離后會產(chǎn)生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相等離子體,能夠?qū)Ω鞣N有機表面實現(xiàn)刻蝕及有機物去除,在晶圓制造、線路板制造、太陽能電池板制造等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。
普樂斯電子9年專注研制等離子清洗機,等離子表面處理設(shè)備,已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認證,為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗,活化,刻蝕,涂覆的等離子表面處理解決方案。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電!

刻蝕通常又會被稱為蝕刻、咬蝕、凹蝕等,刻蝕作用是利用典型的氣體組合形成具有強烈蝕刻性的氣相等離子體與物體表面的有機物基體發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成其他比如CO,CO2,H2O等氣體,從而達到蝕刻的目的。
實現(xiàn)刻蝕所使用的氣體大多為含氟氣體,應(yīng)用zui多的是四氟化碳。四氟化碳是一種無色無味的氣體,無毒、不燃,但在高濃度時具有麻醉作用,所以在工業(yè)應(yīng)用時儲存的容器為專用高壓氣瓶,所使用的減壓閥也為專用減壓閥。

二、放電顏色及行業(yè)應(yīng)用
真空等離子清洗機電離四氟化碳氣體產(chǎn)生的等離子體顏色為白色,肉眼觀察類似于稀薄的白色霧氣,辨識度很高,很容易與其他氣體區(qū)分。
真空等離子清洗機電離四氟化碳氣體產(chǎn)生的等離子體顏色為白色,肉眼觀察類似于稀薄的白色霧氣,辨識度很高,很容易與其他氣體區(qū)分。

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