半導(dǎo)體行業(yè)的銅支架經(jīng)過等離子清洗機(jī)處理后為什么變色？普樂斯資深工程師有一些見解！

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2021-01-25 15:17【大中小】

文章導(dǎo)讀：半導(dǎo)體封裝行業(yè)，包括集成電路、分立器件、傳感器和光電子的封裝，通常會用到銅材質(zhì)的引線框架，為了提高鍵合和封塑的可靠性，一般會把銅支架經(jīng)過幾分鐘的等離子清洗機(jī)處理，來清除表面的有機(jī)物、污染物，增加其表面的可焊性和粘接性。

有的時候我們會發(fā)現(xiàn)，銅支架在等離子清洗機(jī)的真空環(huán)境下如果處理不當(dāng)，容易出現(xiàn)表面變色和發(fā)黑，嚴(yán)重的甚至是出現(xiàn)燒板等現(xiàn)象。難道是因為腔體里面的空氣沒有抽干凈嗎？殘余空氣中氧分子被激發(fā)，形成的氧等離子體與銅表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而形成氧化銅的結(jié)果？原因真的就這么簡單嗎？普樂斯資深工程師結(jié)合多年的等離子清洗銅支架的實踐經(jīng)驗，與大家一起分析一下。

1 等離子清洗機(jī)真空度影響銅支架清洗效果和變色

等離子清洗機(jī)真空度關(guān)聯(lián)因素包括真空腔體漏率、背底真空、真空泵的抽速和工藝氣體的進(jìn)氣流量等。真空泵抽速越快，背底真空值越低，說明里面殘留的空氣就越少，銅支架與空氣里面的氧等離子體反應(yīng)的機(jī)會就會越少；當(dāng)工藝氣體進(jìn)入，形成的等離子體可以充分地與銅支架發(fā)生反應(yīng)，沒有被激發(fā)的工藝氣體可以把反應(yīng)物輕松帶走，銅支架清洗效果會好，不容易變色。

2 等離子清洗機(jī)電源功率對銅支架清洗效果和變色的影響

等離子清洗機(jī)電源功率關(guān)聯(lián)因素包括能量功率大小和單位功率密度。電源功率越大，等離子體能量就越高，對銅支架的表面轟擊力就越強；同等功率的情況下，處理的銅支架越少，單位功率密度就會越大，清洗的效果就會越好，但有可能會造成能量過大，板面變色或者燒板。

還有更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)銅支架經(jīng)等離子清洗機(jī)處理后變色的內(nèi)容普樂斯將在之后文章中再與大家交流。

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