等離子清洗技術介紹
文章導讀：等離子清洗技術具有高效、無污染、適用于多種材料等優(yōu)點，被廣泛應用于半導體、光學、航空航天等領域的清洗和表面處理。那么哪些參數(shù)需要重點關注呢？
等離子清洗機技術具有高效、無污染、適用于多種材料等優(yōu)點，被廣泛應用于半導體、光學、航空航天等領域的清洗和表面處理。那么哪些參數(shù)需要重點關注呢？
1、放電壓力：在低壓等離子體的情況下，放電壓力越高，等離子體密度越高，電子溫度越低。等離子體的清潔效果取決于等離子體的密度和電子溫度。例如，密度越高，清洗速度越快，電子溫度越高，清洗效果越高。因此，放電氣體壓力的選擇對于低壓等離子清洗工藝非常重要。
2、氣體種類：待處理基材及其表面污染物種類繁多，各種氣體排放產(chǎn)生的等離子清洗速度和清洗效果完全不同。因此，應有針對性地選擇等離子體的工作氣體。例如，使用氧等離子體去除物體表面的油脂和污垢，或使用氫氬混合氣體等離子體去除氧化層。
3、放電功率：提高放電功率可以增加等離子體的密度和活性粒子的能量，從而提高清洗效果。例如，氧等離子體的密度受放電功率的影響很大。
4、暴露時間：待用等離子體清洗材料的暴露時間對其表面清洗效果和等離子體工作效率影響很大。曝光時間越長，清洗效果越高，但工作效率越低。而且太長了長時間清洗會損壞材料的表面。
5、傳輸率：在常壓等離子清洗過程中，處理大型物體時會出現(xiàn)連續(xù)傳輸?shù)膯栴}。因此，待清潔物體與電極之間的相對運動速度越慢，治療效果就越高。
6、其他：等離子清洗過程中的氣體分布、氣體流速、電極設置等參數(shù)也會影響清洗效果。因此，需要根據(jù)實際情況和清洗要求，設定具體合適的工藝參數(shù)。
2、氣體種類：待處理基材及其表面污染物種類繁多，各種氣體排放產(chǎn)生的等離子清洗速度和清洗效果完全不同。因此，應有針對性地選擇等離子體的工作氣體。例如，使用氧等離子體去除物體表面的油脂和污垢，或使用氫氬混合氣體等離子體去除氧化層。
4、暴露時間：待用等離子體清洗材料的暴露時間對其表面清洗效果和等離子體工作效率影響很大。曝光時間越長，清洗效果越高，但工作效率越低。而且太長了長時間清洗會損壞材料的表面。
5、傳輸率：在常壓等離子清洗過程中，處理大型物體時會出現(xiàn)連續(xù)傳輸?shù)膯栴}。因此，待清潔物體與電極之間的相對運動速度越慢，治療效果就越高。
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