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真空等離子清洗機(jī)的腔體大小和進(jìn)氣方式對(duì)均勻性有何影響？

來(lái)源：昆山普樂(lè)斯瀏覽：次發(fā)布日期：2018-08-11 20:48【大中小】

文章導(dǎo)讀：?影響真空等離子清洗機(jī)均勻性的因素很多，包括腔體大小、進(jìn)氣方式、電極結(jié)構(gòu)、電源頻率、氣體流量、功率大小等等，今天普樂(lè)斯的小伙伴來(lái)談?wù)勄惑w大小和進(jìn)氣方式對(duì)均勻性的影響，僅供參考：

1、真空等離子清洗機(jī)腔體的容積越大，均勻性越難掌控，尤其對(duì)電源的選擇要慎重。普樂(lè)斯可根據(jù)客戶產(chǎn)品規(guī)格和產(chǎn)量進(jìn)行定制等離子清洗機(jī)，自10L以上都可進(jìn)行個(gè)性化的設(shè)計(jì)。但如等離子發(fā)生器只選用13.56MHz的RF電源，那么建議盡量控制在600L以內(nèi)，腔體越大所需的RF電源功率就越大；尤其是使用3000W及以上功率，則建議使用美國(guó)AE、MKS或其他進(jìn)口的RF電源，成本相對(duì)較高，但穩(wěn)定可靠。如處理的產(chǎn)品對(duì)均勻性要求高，建議使用40KHz的中頻電源或?qū)⒄婵涨惑w控制在100L以內(nèi)。

2、普樂(lè)斯等離子清洗設(shè)備使用前進(jìn)氣后排氣的方式，經(jīng)過(guò)測(cè)試這種均勻性相對(duì)較好。腔體內(nèi)的進(jìn)氣管通常用鋁管，將鋁管彎折并焊接成類似方形結(jié)構(gòu)并在鋁管上開(kāi)孔，開(kāi)孔位置在兩層電極板的中間，保證每層處理空間都有獨(dú)立的進(jìn)氣品。如下圖所示：

大腔體設(shè)備的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)會(huì)有所變化，具體結(jié)構(gòu)還要看腔體大小，下圖為其中一種結(jié)構(gòu)：

以上關(guān)于腔體大小和進(jìn)氣方式對(duì)等離子均勻性的影響描述對(duì)您有什么啟發(fā)？您有什么異議或更好的想法，歡迎大家留言與我們交流和分享。

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‌高效徹底‌：能夠深入微納米級(jí)孔隙中，徹底清除難以觸及的污染物。

‌環(huán)保節(jié)能‌：無(wú)需使用化學(xué)溶劑，減少?gòu)U水廢氣排放，符合綠色生產(chǎn)要求，且能耗低。

‌廣泛適用‌：適用于多種材料表面，包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等，不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

‌工藝可控‌：通過(guò)調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù)，可精確控制清洗過(guò)程‌。
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在材料及產(chǎn)品生產(chǎn)、加工、轉(zhuǎn)運(yùn)的過(guò)程中，材料表面由于存在靜電，表面會(huì)自帶或吸附微塵，影響成品質(zhì)量。隨著各行業(yè)表面潔凈度要求不斷提高，對(duì)微小雜質(zhì)和粉塵的去除愈加重要。非接觸表面清潔有無(wú)接觸、設(shè)備小、成本低、耗材少、易實(shí)施等優(yōu)點(diǎn)，近年來(lái)在各個(gè)行業(yè)均有較快的發(fā)展。
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‌雙腔體等離子處理機(jī)主要用于晶圓表面等離子處理‌是一種通過(guò)等離子體對(duì)晶圓表面進(jìn)行改性的技術(shù)，具有高效、環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。