等離子清洗機(jī)是如何應(yīng)用到METAL MESH金屬網(wǎng)格的壓印蝕刻上面的？

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2022-12-16 13:57【大中小】

文章導(dǎo)讀：等離子技術(shù)在METAL MESH金屬網(wǎng)格上進(jìn)行的壓印蝕刻是怎樣一種工藝？制作納米壓印模具要先通過光學(xué)或等離子光刻得到METAL MESH的圖案模版。壓印模具材料的化學(xué)前體在模版中固化，聚合成型后從模版中脫離，便得到了所要求的模具。

等離子技術(shù)在METAL MESH金屬網(wǎng)格上進(jìn)行的壓印蝕刻是怎樣一種工藝？

一、METAL MESH金屬網(wǎng)格工藝的產(chǎn)生背景

之所以利用METAL MESH金屬網(wǎng)格工藝制作透明導(dǎo)電膜層，替代電容觸摸屏或其它光電產(chǎn)品導(dǎo)電膜層，起初的原因是基于行業(yè)對(duì)稀土金屬供應(yīng)量有限的情況，在意識(shí)到這一問題后由美、日、韓光電行業(yè)的研究人員所提出來。
之所以出現(xiàn)這個(gè)方案，是人們希望能夠利用其它成本更低、儲(chǔ)量更豐富的金屬材料，替代成本較高、產(chǎn)能和供應(yīng)量有限的稀土金屬來制作透明導(dǎo)電產(chǎn)品，并實(shí)際應(yīng)用在光電顯示產(chǎn)品上。在許多的稀土資源被探查出后，人們意識(shí)到稀土不見得只有原來預(yù)計(jì)的儲(chǔ)量那么小。
而METAL MESH金屬網(wǎng)格替代方案的加工成本，也不見得比現(xiàn)在的稀土材料加工成本低，但作為一種被提出的可操作的實(shí)用技術(shù)，METAL MESH金屬網(wǎng)格透明導(dǎo)電膜層加工工藝仍被光電行業(yè)從業(yè)人員深入研究，以期能充分利用它的優(yōu)勢(shì)，在不同的場(chǎng)景中，分別應(yīng)用在不同領(lǐng)域的產(chǎn)品上。

二、對(duì)于METAL MESH的行業(yè)簡(jiǎn)單介紹

如果大家對(duì)METAL MESH不那么了解，就生活中尋常的，大家可接觸到、感知到的方式來說，蘋果iPhone 5以后的手機(jī)所用的In-Cell觸摸顯示屏，就是一種利用METAL MESH金屬化合物網(wǎng)格工藝，來實(shí)現(xiàn)電容觸摸功能的觸摸顯示屏。
在目前的電容觸摸屏技術(shù)突破路徑不多的情況下，處于國(guó)際光電制造中心的中（含臺(tái)灣）、日、韓三方，都在積極進(jìn)行METAL MESH金屬網(wǎng)格相關(guān)的工藝研究與開發(fā)。其中走在比較前的有三星、LG、日本富士、TPK、界面、洋化、歐菲光等企業(yè)。

三、METAL MESH金屬網(wǎng)格的分類

我們可以將METAL MESH金屬網(wǎng)格進(jìn)行分類的方式，來更好地了解它。　
1、按材料的組成，我們可以分成：
①金屬合金類金屬網(wǎng)格，有銅合金、鉻合金、錫鋅合金、銀合金、金合金、鉬鋁鉬組合合金等；
②金屬化合物金屬網(wǎng)格，有氧化鋅、湨化銀等；　
③納米金屬材料類金屬網(wǎng)格，有納米銀絲、碳納米管、石墨烯、納米金屬氧化物等。
2、按圖形分的話，可以分成
①等分矩陣形金屬網(wǎng)格；
②紊亂平鋪形金屬網(wǎng)格。

四、等離子壓印蝕刻工藝的優(yōu)勢(shì)

關(guān)于技術(shù)本身最后我們來介紹一下等離子壓印蝕刻工藝是怎樣的一種工藝技術(shù)。它會(huì)通過精密沖壓技術(shù)，使用微米級(jí)的模具轉(zhuǎn)移圖形到阻蝕油墨上，再用等離子蝕刻出最終的電子線路。在加工過程中，涉及到了阻蝕油墨涂覆技術(shù)、精密沖壓技術(shù)、微米級(jí)模版制造技術(shù)、等離子蝕刻技術(shù)等。
等離子壓印蝕刻加工技術(shù)具有快速、廉價(jià)的優(yōu)點(diǎn)，而且它還不需要苛刻的無塵車間，甚至不需要絕對(duì)平整的表面，具有作業(yè)方法靈活多變的特點(diǎn)。
與等離子壓印蝕刻相關(guān)的工藝技術(shù)，在一些半導(dǎo)體器件和光學(xué)器件領(lǐng)域，都有應(yīng)用，是比較通用和成熟的技術(shù)系統(tǒng)，所涉及的設(shè)備、材料，市場(chǎng)都有比較充分的供應(yīng)。　　

五、METAL MESH金屬網(wǎng)格工藝在壓印模版制作方面的應(yīng)用

目前很多半導(dǎo)體企業(yè)，都具備了納米光刻技術(shù)與制備工藝，能制作納米級(jí)的納米壓印模具。制作納米壓印模具要先通過光學(xué)或等離子光刻得到METAL MESH的圖案模版。壓印模具材料的化學(xué)前體在模版中固化，聚合成型后從模版中脫離，便得到了所要求的模具。常常要得到的模具是PDMS，接著，PDMS模具浸在含有硫醇的試劑中，然后將浸過試劑的模具壓到鍍金襯底上，襯底可以為玻璃、硅、聚合物等多種形式。
另外，在襯底上可以先鍍上一薄層鈦層然后再鍍金，以增加粘連。硫醇與金發(fā)生反應(yīng)，形成自組裝單分子層SAM。印后有兩種工藝對(duì)其處理。一種是采用濕法刻蝕，如在氫化物溶液中，氫化物的離子促使未被SAM層覆蓋的金溶解，而由于SAM能有效地阻擋氫化物的離子，被SAM覆蓋的金被保留，從而將單分子層的圖案轉(zhuǎn)移到金上。還可以進(jìn)一步以金為掩模，對(duì)未被金覆蓋的地方進(jìn)行刻蝕，再次實(shí)現(xiàn)圖案轉(zhuǎn)移，另一種是在金膜上通過自組裝單層的硫醇分子來鏈接某些有機(jī)分子，實(shí)現(xiàn)自組裝。　
而用METAL MESH金屬網(wǎng)格工藝來制作電容觸摸屏透明導(dǎo)電膜的微米壓印模板形貌是：高度5~10微米，周期也是20~50微米，寬度是1-3微米，對(duì)于納米光刻技術(shù)來說，制作起來完全沒有難度?！?br /> 觸摸屏工廠所需要做的，只需把你的設(shè)計(jì)圖樣發(fā)給納米光刻加工企業(yè)，然后提出你的模版形貌特征，加工企業(yè)就可以制作出精美的阻蝕油墨蝕刻圖案壓印模版交付給你使用了。而本文所說的等離子加工工藝，本身也是借鑒復(fù)制了納米光刻技術(shù)的流程和工藝。
METAL MESH金屬網(wǎng)格工藝設(shè)計(jì)圖樣時(shí)，因?yàn)榻饘俨牧系膶?dǎo)電率比較高，形成的線路電阻可以做到較低，一般會(huì)同時(shí)把sensor圖案和外圍連接電路設(shè)計(jì)在同一層圖層，方便生產(chǎn)加工時(shí)一次性加工出來。
組成金屬網(wǎng)格的微米線路方式，一般附著力較弱的金屬層會(huì)盡量在容許寬度內(nèi)填充滿線路，做到最大的圖形面積，這個(gè)時(shí)候就需要在導(dǎo)電圖形面積、產(chǎn)品透過率、光線干涉條紋上做出平衡。
如果是附著較強(qiáng)的導(dǎo)電漿料，則可以采用能消除干涉條紋的紊亂型微米線路。但是導(dǎo)電漿料的導(dǎo)電率相對(duì)較低，為了保證足夠低的電阻，就得在圖案密度和產(chǎn)品霧度上做出平衡。
在目前METAL MESH金屬網(wǎng)格工藝設(shè)計(jì)圖樣設(shè)計(jì)中，微米線路布線方式，在光學(xué)上決定了最終產(chǎn)品的光學(xué)干涉條紋以及霧度。

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‌高效徹底‌：能夠深入微納米級(jí)孔隙中，徹底清除難以觸及的污染物。

‌環(huán)保節(jié)能‌：無需使用化學(xué)溶劑，減少?gòu)U水廢氣排放，符合綠色生產(chǎn)要求，且能耗低。

‌廣泛適用‌：適用于多種材料表面，包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等，不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

‌工藝可控‌：通過調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù)，可精確控制清洗過程‌。
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在材料及產(chǎn)品生產(chǎn)、加工、轉(zhuǎn)運(yùn)的過程中，材料表面由于存在靜電，表面會(huì)自帶或吸附微塵，影響成品質(zhì)量。隨著各行業(yè)表面潔凈度要求不斷提高，對(duì)微小雜質(zhì)和粉塵的去除愈加重要。非接觸表面清潔有無接觸、設(shè)備小、成本低、耗材少、易實(shí)施等優(yōu)點(diǎn)，近年來在各個(gè)行業(yè)均有較快的發(fā)展。
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色差儀領(lǐng)域一款強(qiáng)大的測(cè)色工具，優(yōu)秀的性能配置，讓色彩測(cè)量更準(zhǔn)確；儀器可與安卓或IOS設(shè)備無線連接，極大的拓展了顏色測(cè)量?jī)x器的應(yīng)用邊界；它將帶您進(jìn)入色彩管理新世界，可替代印刷、涂料、紡織等色卡，實(shí)現(xiàn)顏色讀取、色卡查找功能。
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