在真空等離子機上常見的氣路控制布局和特色之處
文章導讀：控制工藝氣體的穩(wěn)定和持續(xù)是真空等離子機保證處理效果的因素之一，普樂斯剛向大家介紹了氣路控制的組成，那么真空等離子機常見的氣路控制布局是什么樣的呢？有什么特色的地方呢？
控制工藝氣體的穩(wěn)定和持續(xù)是保證真空等離子機處理效果的因素之一，普樂斯在上篇文章中向大家介紹了氣路控制的組成，那么真空等離子機常見的氣路控制布局是什么樣的呢？以及各氣路組成部分有什么特色的地方呢？接下來我們一起學習。
一、真空等離子機常見的氣路控制布局
真空等離子機上常見的氣路通常包括三大組成部分：兩路工藝氣體控制、一路破空氣體控制和一路壓縮空氣控制即CDA控制。下圖為常見的氣路控制布局：
一、真空等離子機常見的氣路控制布局
真空等離子機上常見的氣路通常包括三大組成部分：兩路工藝氣體控制、一路破空氣體控制和一路壓縮空氣控制即CDA控制。下圖為常見的氣路控制布局：
二、真空等離子機各個氣路組成部分及特點
①壓縮空氣操控部分只需氣體高壓、過濾器及帶輸出報警壓力表整套組件，不需其他組件。因CDA為部分元件的動力氣體，只需在氣體壓力不足時供給報警服務即可。
②破空氣體部分是在CDA操控氣路基礎(chǔ)上增加一支大口徑真空電磁閥，在工藝運行完畢后為真空腔體供給破真空氣體輸入服務。因破真空氣體通常為高潔凈氣體，所以部分破真空氣路中沒有安裝過濾器，如下圖所示。
①壓縮空氣操控部分只需氣體高壓、過濾器及帶輸出報警壓力表整套組件，不需其他組件。因CDA為部分元件的動力氣體，只需在氣體壓力不足時供給報警服務即可。
②破空氣體部分是在CDA操控氣路基礎(chǔ)上增加一支大口徑真空電磁閥，在工藝運行完畢后為真空腔體供給破真空氣體輸入服務。因破真空氣體通常為高潔凈氣體，所以部分破真空氣路中沒有安裝過濾器，如下圖所示。
③工藝氣體常規(guī)上為高潔凈氣體，過濾器經(jīng)常也算是選裝的組件。工藝氣體控制部分主要包括調(diào)壓閥、過濾器、帶報警輸出報警表、真空電磁閥和質(zhì)量控制器。工藝氣體通常配置兩路，也可根據(jù)實際要求來配置多路氣體。
④在此氣路布局下，進氣的順序為：氣體先經(jīng)過濾器輸送至調(diào)壓閥、帶報警輸出壓力表，再依次通過真空電磁閥和質(zhì)量控制器。
以上就是真空等離子機常見的氣路控制布局和各組成部分的特點，如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設備使用中有疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
④在此氣路布局下，進氣的順序為：氣體先經(jīng)過濾器輸送至調(diào)壓閥、帶報警輸出壓力表，再依次通過真空電磁閥和質(zhì)量控制器。
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