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普樂斯對(duì)射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽(yáng)極鞘層知識(shí)點(diǎn)進(jìn)行補(bǔ)充

返回列表 來源：普樂斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2021-02-02 09:56【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：在2020年2月1日的文章中，普樂斯向大家介紹了射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽(yáng)極鞘層的部份知識(shí)點(diǎn)，還有一些補(bǔ)充信息需要給大家分享：
在2020年2月1日的文章中，普樂斯向大家介紹了射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽(yáng)極鞘層的部份知識(shí)點(diǎn)，還有一些補(bǔ)充信息需要給大家分享：
 
普樂斯射頻真空等離子表面處理設(shè)備
 
1 射頻真空等離子表面處理設(shè)備空間電荷限制的陽(yáng)極電流
 
在陰極鞘層中考慮限制電流量的空間電荷效應(yīng)時(shí)，我們假設(shè)只存在一種載流子是允許的，因?yàn)槟抢锏碾娮用芏纫呀?jīng)小到可以忽略不計(jì)；但是在陽(yáng)極鞘中情況就不一樣了，電子密度不一定能夠被忽略。特別是存在陽(yáng)極二次電子發(fā)射時(shí)更不能被忽略，因此無碰撞條件下的Child-Langmuir方程在此是不適用，需要建立適合二種載流子的模型。然而這一類模型的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證卻是相當(dāng)?shù)乩щy，問題在于鞘電壓和鞘厚均很小，測(cè)定起來誤差太大。
 
2 射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽(yáng)極鞘層的極性
 
一般情況下，陽(yáng)極鞘層的極性較之負(fù)輝區(qū)等離子體來說處于低電位，在以上的一些討論中通常也都是這樣假設(shè)的。但實(shí)際上也并非總是如此，如果遇下面情況之一陽(yáng)極的極性便會(huì)發(fā)生逆轉(zhuǎn)。
2-1當(dāng)陽(yáng)極二次電子發(fā)射系數(shù)很大時(shí)。
2-2當(dāng)陽(yáng)極尺寸太小時(shí)，陽(yáng)極鞘中電流形成機(jī)制自身調(diào)適就會(huì)發(fā)生極性逆轉(zhuǎn)。當(dāng)陽(yáng)極面積小到一定程度時(shí)，陽(yáng)極電位達(dá)到與負(fù)輝區(qū)等離子體等電位；這時(shí)電子電流密度增大到飽和值。至此，如果陽(yáng)極面積再減小的話，鞘層極性便會(huì)發(fā)生逆轉(zhuǎn)。隨之離子電流減小而凈電子電流進(jìn)一步增大。
 
射頻真空等離子表面處理設(shè)備
 
3 射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽(yáng)極鞘層的主要作用
 
在通常情況下，即陽(yáng)極電位低于負(fù)輝區(qū)的等離子體電位時(shí)，可以使陽(yáng)極發(fā)射的二次電子加速進(jìn)入負(fù)輝區(qū)，同時(shí)使從負(fù)輝區(qū)來的離子加速到達(dá)陽(yáng)極或置于陽(yáng)極的基片表面。由此可見，雖然陽(yáng)極鞘層薄，其中不會(huì)產(chǎn)生顯著電離，但被鞘電壓加速的二次電子可作為負(fù)輝區(qū)的電子源和能量源；而負(fù)輝區(qū)又是陽(yáng)極鞘層的離子源。
 
射頻真空等離子表面處理設(shè)備放電狀態(tài)
 
更多關(guān)于射頻真空等離子表面處理設(shè)備陽(yáng)極鞘層詳細(xì)內(nèi)容普樂斯陸續(xù)會(huì)在之后文章中再與大家進(jìn)行交流。


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