國產(chǎn)硅片又獲重大進(jìn)展！等離子清洗機(jī)設(shè)備又一利好
作為投資60億元的重大投資項(xiàng)目，這家位于杭州錢塘新區(qū)的中芯晶圓，由日本Ferrotec株式會社、杭州大和熱磁電子有限公司及上海申和電子有限公司共同投資成立的中芯晶圓，是我國半導(dǎo)體大尺寸硅片生產(chǎn)的“標(biāo)桿工廠”。該工廠致力于成為中國大尺寸硅片生產(chǎn)的標(biāo)桿基地。該項(xiàng)目計(jì)劃將建設(shè)3條8英寸、2條12英寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)線。其中8英寸生產(chǎn)線將成為目前國內(nèi)規(guī)模最大、技術(shù)最成熟的生產(chǎn)線，投產(chǎn)后預(yù)計(jì)月產(chǎn)45萬片;12英寸半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)線投產(chǎn)后預(yù)計(jì)月產(chǎn)24萬片，將大大緩解我國硅片供應(yīng)不足的局面。由于涉及產(chǎn)線眾多，且規(guī)格高端，客戶對各標(biāo)段供應(yīng)商提出了極為嚴(yán)格的要求，并期待投產(chǎn)后便于統(tǒng)一管理，以保障生產(chǎn)的穩(wěn)定高效。
近年來，杭州集成電路產(chǎn)業(yè)已涵蓋設(shè)計(jì)、制造、封測、材料和裝備全產(chǎn)業(yè)鏈領(lǐng)域。今年一季度，杭州集成電路規(guī)上企業(yè)主營業(yè)務(wù)收入79.14億元，同比增長29.8%。
像中芯晶圓這樣在集成電路產(chǎn)業(yè)中屬制造一環(huán)，杭州發(fā)布了《關(guān)于制造業(yè)企業(yè)技術(shù)改造資金補(bǔ)助的實(shí)施細(xì)則》，細(xì)化制造企業(yè)技改政策內(nèi)容，對2018年1月1日以后開工的實(shí)際投資額(設(shè)備、外購技術(shù)、軟件投入)1000萬元以上的制造業(yè)技術(shù)改造項(xiàng)目，按產(chǎn)業(yè)分類分檔，分別給予20%、10%的比例和不超過1億元、5000萬元的補(bǔ)助。
“集成電路產(chǎn)業(yè)是杭州數(shù)字經(jīng)濟(jì)中的核心，我們希望通過類似這種項(xiàng)目的啟動，讓杭州的集成電路產(chǎn)業(yè)躋身全國第一方陣，為杭州打造全國數(shù)字經(jīng)濟(jì)。
本文來源：半導(dǎo)體行業(yè)觀察
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等離子清洗機(jī)在光刻膠去除、打線（W/B）前清洗和塑封（Molding）前活化等工藝上都有應(yīng)用，能夠有效提高產(chǎn)品良率。普樂斯涉足半導(dǎo)體行業(yè)至今已有7年，合作客戶20余家，提供個性化的等離子表面處理工藝解決方案。
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