高科技牛了，大功率晶圓測試被搞定了！

來源：半導(dǎo)體行業(yè)觀察瀏覽：次發(fā)布日期：2021-03-16 09:57【大中小】

文章導(dǎo)讀：當(dāng)下，高電壓/電流市場是目前半導(dǎo)體應(yīng)用中增長最快的領(lǐng)域之一。在電動(dòng)化和可再生能源發(fā)展的推動(dòng)下，新一代電力電子器件也同時(shí)在推動(dòng)MOSFET和IGBT的發(fā)展，這也帶動(dòng)了碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等其它新基質(zhì)的日益普及。

當(dāng)下，高電壓/電流市場是目前半導(dǎo)體應(yīng)用中增長最快的領(lǐng)域之一。在電動(dòng)化和可再生能源發(fā)展的推動(dòng)下，新一代電力電子器件也同時(shí)在推動(dòng)MOSFET和IGBT的發(fā)展，這也帶動(dòng)了碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)等其它新基質(zhì)的日益普及。

作為高電子遷移率晶體管（HEMT）之一的氮化鎵GaN。與其它基于硅的MOSFET器件相比，它的優(yōu)勢顯著體現(xiàn)在禁帶寬大、開關(guān)切換時(shí)間極短、更高的功率密度和擊穿電壓，以及更好的熱導(dǎo)率。如今，它被廣泛應(yīng)用于電力電子領(lǐng)域，如手機(jī)快速充電器、軍用雷達(dá)設(shè)備、高速軌道交通和5G網(wǎng)絡(luò)等。

與GaN一樣，SiC也具備高電壓和高溫的特點(diǎn)，但由于其壓敏電阻特點(diǎn)，在600V或更高電壓上，與GaN相比則有更好的表現(xiàn)。作為第一個(gè)成功商業(yè)化的寬禁帶半導(dǎo)體SiC，從2018年被應(yīng)用到特斯拉汽車上以來，混合動(dòng)力汽車和電動(dòng)汽車以及充電站便成為了SiC功率半導(dǎo)體市場快速增長的主要?jiǎng)恿Α?/span>

隨著SiC/GaN 器件技術(shù)的成熟，以及其成本的不斷降低，SiC/GaN 器件有望加速滲透。根據(jù) Yole 預(yù)測，2023 年 SiC、GaN 電力電子器件的市場規(guī)模將分別增長至 14 億和 3.7 億美元，市場滲透率分別達(dá)到 3.75%和1%。GaN 射頻器件在 5G 宏基站建設(shè)和國防建設(shè)的旺盛需求下，疊加 GaN 射頻器件成本下降，需求有望快速放量，根據(jù) Yole 數(shù)據(jù)預(yù)測，2023 年 GaN 射頻器件需求量將達(dá)到 194.3 百萬個(gè)，19- 23 年 CAGR 達(dá)到 85.8%。

在科技迅猛發(fā)展的大背景下，電力電子世界一直被視為一個(gè)較為保守的領(lǐng)域，SiC和GaN的出現(xiàn)，不僅開啟了電力市場的新篇章，也為晶圓測試行業(yè)帶來了新的考驗(yàn)。如何在滿足大功率測試需求的同時(shí)，保持溫度的穩(wěn)定和準(zhǔn)確性，以確保良率，是每個(gè)設(shè)計(jì)工程師都需要考慮的問題。

半導(dǎo)體測試環(huán)節(jié)最重要的裝備之一就是探針臺(tái)，在測試過程中，晶圓被輸送到溫度卡盤上，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測試。經(jīng)過檢測，探針臺(tái)將參數(shù)不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序的工藝流程之前予以剔除。在這個(gè)過程中，對(duì)測試環(huán)境起到?jīng)Q定性作用的便是和晶圓親密接觸的溫度卡盤。

與普通的測試環(huán)境相比，除了需要保證寬泛的測試溫度范圍、卡盤溫度的均勻性和穩(wěn)定性等，高電壓/電流的特殊測試環(huán)境也為卡盤的設(shè)計(jì)增加了更多新的挑戰(zhàn)。例如，在大電流的測試環(huán)境下，較大的接觸電阻會(huì)加速晶圓溫度升高，如果熱量不能得到及時(shí)分散，晶圓就有被損壞的危險(xiǎn)，那么在設(shè)計(jì)溫度卡盤的時(shí)候就必須首先要考慮如何最小化接觸電阻，保證RDS(on)的精準(zhǔn)測量。其次還需要確保在高壓環(huán)境下低漏電，以避免擊穿的發(fā)生。另外，卡盤還需靈活應(yīng)對(duì)一些特殊類型的晶圓, 如薄晶圓、Taiko等。

在高電壓測試和超低噪聲晶圓針測方面積累了超過15年經(jīng)驗(yàn)的ERS electronic，針對(duì)高電壓/電流的測試環(huán)境，設(shè)計(jì)了一款可以保證在高達(dá)一萬伏的高壓下超低漏電、避免擊穿，并同時(shí)兼具寬泛的溫度測試范圍（-55°C到+300°C）的卡盤。它的問世，很好的解決了高電壓/電流的背景下，晶圓測試領(lǐng)域所面臨的諸多難題。

本文來源：半導(dǎo)體行業(yè)觀察
如有侵權(quán)，請(qǐng)聯(lián)系管理員，我們將予以刪除！

普樂斯電子12年專注研制等離子清洗機(jī)，等離子體清洗機(jī)，等離子清洗設(shè)備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理設(shè)備，大氣低溫等離子體表面處理系統(tǒng)，大氣常壓收放卷等離子表面設(shè)備處理，已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證，為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗、活化、刻蝕、涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機(jī)廠家。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點(diǎn)擊普樂斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯隨時(shí)恭候您的來電！

下一篇：美國在芯片設(shè)計(jì)中的主導(dǎo)地位遇到了新挑戰(zhàn) 上一篇：315打假，一些弄虛作假該消失了

“推薦閱讀”

【本文標(biāo)簽】：高科技，晶圓
【責(zé)任編輯】：普樂斯電子版權(quán)所有：http://m.txadv.com轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處

普樂斯推薦

實(shí)驗(yàn)型等離子清洗機(jī) 小型真空等離子處理設(shè)備PLAUX-PR-10L

產(chǎn)品名稱：實(shí)驗(yàn)型等離子清洗機(jī) 小型真空等離子處理設(shè)備PLAUX-PR-10L

‌高效徹底‌：能夠深入微納米級(jí)孔隙中，徹底清除難以觸及的污染物。

‌環(huán)保節(jié)能‌：無需使用化學(xué)溶劑，減少廢水廢氣排放，符合綠色生產(chǎn)要求，且能耗低。

‌廣泛適用‌：適用于多種材料表面，包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等，不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

‌工藝可控‌：通過調(diào)整工作氣體種類、壓力、功率等參數(shù)，可精確控制清洗過程‌。
普樂斯非接觸式除塵設(shè)備 usc干式除塵設(shè)備pls-c系列

產(chǎn)品名稱：普樂斯非接觸式除塵設(shè)備 usc干式除塵設(shè)備pls-c系列
在材料及產(chǎn)品生產(chǎn)、加工、轉(zhuǎn)運(yùn)的過程中，材料表面由于存在靜電，表面會(huì)自帶或吸附微塵，影響成品質(zhì)量。隨著各行業(yè)表面潔凈度要求不斷提高，對(duì)微小雜質(zhì)和粉塵的去除愈加重要。非接觸表面清潔有無接觸、設(shè)備小、成本低、耗材少、易實(shí)施等優(yōu)點(diǎn)，近年來在各個(gè)行業(yè)均有較快的發(fā)展。
色差儀色差寶顏色檢測精密色差儀測色儀便攜式取色器

產(chǎn)品名稱：色差儀色差寶顏色檢測精密色差儀測色儀便攜式取色器
色差儀領(lǐng)域一款強(qiáng)大的測色工具，優(yōu)秀的性能配置，讓色彩測量更準(zhǔn)確；儀器可與安卓或IOS設(shè)備無線連接，極大的拓展了顏色測量儀器的應(yīng)用邊界；它將帶您進(jìn)入色彩管理新世界，可替代印刷、涂料、紡織等色卡，實(shí)現(xiàn)顏色讀取、色卡查找功能。
水滴角檢測儀水滴角測試儀接觸角測試儀PLS-JD500C

產(chǎn)品名稱：水滴角檢測儀水滴角測試儀接觸角測試儀PLS-JD500C

接觸角測量儀是一種用于測量表面張力和潤濕性能的儀器，廣泛應(yīng)用于化學(xué)、材料、生物等領(lǐng)域。接觸角測量儀校準(zhǔn)規(guī)范是確保測試結(jié)果準(zhǔn)確可靠的重要環(huán)節(jié)。
雙腔體等離子處理機(jī) 晶圓等離子清洗設(shè)備PLAUX-JY-60LS

產(chǎn)品名稱：雙腔體等離子處理機(jī) 晶圓等離子清洗設(shè)備PLAUX-JY-60LS

‌雙腔體等離子處理機(jī)主要用于晶圓表面等離子處理‌是一種通過等離子體對(duì)晶圓表面進(jìn)行改性的技術(shù)，具有高效、環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、先進(jìn)封裝等領(lǐng)域。