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DBD介質(zhì)阻擋等離子表面處理機(jī)放電有何規(guī)律？

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2020-11-05 10:03【大中小】

文章導(dǎo)讀：DBD介質(zhì)阻擋等離子表面處理設(shè)備也是一種常見的等離子清洗機(jī)，其放電原理有一定的特點(diǎn)，那么DBD介質(zhì)阻擋等離子表面處理機(jī)放電原理是怎樣的？有沒有什么規(guī)律呢？

DBD介質(zhì)阻擋等離子表面處理機(jī)的電極通常有平板式、圓柱式和沿面放電式幾種形式，但無論是哪種形式，DBD等離子處理設(shè)備在放電的初期都是由無數(shù)微小的放電絲組成，因而能夠借助對(duì)絲狀放電的分析來尋找DBD介質(zhì)阻擋放電中的規(guī)律。

從放電原理上來看，當(dāng)DBD等離子表面處理機(jī)電極的兩端施加高壓，陰極附近的氣體會(huì)在電場作用下電離并產(chǎn)生電子。在氣體被完全擊穿之前，這些電子會(huì)在電場中加速，當(dāng)能量達(dá)到一定程度時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生電子雪崩。單根細(xì)絲放電的演化如下圖所示。

普樂斯DBD介質(zhì)阻擋等離子表面處理機(jī)單根細(xì)絲放電示意圖

DBD等離子表面處理機(jī)工作時(shí)，電子具有較強(qiáng)的可流動(dòng)性，使其在可測量的納秒級(jí)范圍內(nèi)越過氣體間隙。當(dāng)電子雪崩在氣體間隙發(fā)生并產(chǎn)生定向移動(dòng)的時(shí)候，離子會(huì)因?yàn)檫\(yùn)動(dòng)比較慢而被停留在后面慢慢在放電空間產(chǎn)生累積?？臻g電荷的產(chǎn)生使DBD等離子表面處理機(jī)的放電空間的電場發(fā)生畸變，進(jìn)而使電極間空氣間隙的電場強(qiáng)度大于或等于周圍氣體的擊穿場強(qiáng)，使得在較短的時(shí)間內(nèi)氣體電離快速增加，造成單個(gè)絲狀放電的發(fā)生。

DBD等離子表面處理機(jī)在1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓條件下，粒子間的碰撞頻率高，一個(gè)正在變大的電子雪崩在較短的距離就能夠產(chǎn)生相當(dāng)規(guī)模的電荷密度。電子和離子飄移速度差異導(dǎo)致電荷分離，進(jìn)而使局部電場在原電場基礎(chǔ)上得到疊加，場強(qiáng)變大。在流柱頭部的高場強(qiáng)區(qū)，碰撞電離造成電離區(qū)域的快速增長，進(jìn)而產(chǎn)生明亮的等離子體通道?？墒窃诮橘|(zhì)阻擋放電過程中，鑒于DBD等離子表面處理機(jī)介質(zhì)層的存在限定了電流的自由增加，因而也阻止了金屬電極間火花或弧光放電的產(chǎn)生。
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