等離子表面處理選用氬氣時有什么功能和應(yīng)用？
文章導(dǎo)讀：氬氣是一種惰性工藝氣體，會根據(jù)等離子表面處理的需要來選用，那么使用氬氣等離子表面處理有什么功能和應(yīng)用呢？
等離子表面處理包括等離子表面清洗、等離子表面活化、等離子表面刻蝕、等離子表面涂鍍四大方面，所使用到的工藝氣體種類也較多，做表面清洗和活化通常會用到氧氣、氫氣、氮氣和壓縮空氣，當根據(jù)工藝要求不同還會用到氬氣。氬氣在等離子表面處理中有何功能和應(yīng)用呢？
一、使用氬氣在等離子表面清洗中的優(yōu)勢
在晶圓、玻璃等產(chǎn)品的表面Particle去除的工藝中，通常都會采用Ar等離子體對表面Particle進行轟擊，以達到Particle被打散、松動（與基材表面脫離）的效果，再配合超聲波清洗或離心清洗等工藝，將表面的Particle進行去除。特別是在在半導(dǎo)體封裝工藝中，完成打線工藝后為防止導(dǎo)線氧化，都是采用氬等離子體或氬氫等離子體進行表面清洗。
一、使用氬氣在等離子表面清洗中的優(yōu)勢
在晶圓、玻璃等產(chǎn)品的表面Particle去除的工藝中，通常都會采用Ar等離子體對表面Particle進行轟擊，以達到Particle被打散、松動（與基材表面脫離）的效果，再配合超聲波清洗或離心清洗等工藝，將表面的Particle進行去除。特別是在在半導(dǎo)體封裝工藝中，完成打線工藝后為防止導(dǎo)線氧化，都是采用氬等離子體或氬氫等離子體進行表面清洗。
二、通過氬等離子進行表面粗化
等離子的表面粗化處理又稱等離子表面刻蝕，其目的是提升材料表面的粗糙度，以增加粘接、印刷、焊接等工藝結(jié)合力，經(jīng)氬等離子表面處理后的表面張力會明顯提升。活性氣體所產(chǎn)生的等離子體也可以增加表面的粗糙度，但氬氣電離后產(chǎn)生的粒子相對較重，氬離子在電場的作用下的動能會明顯高于活性氣體，所以其粗化效果會更加明顯，在無機物基材表面粗化工藝中應(yīng)用廣泛。如玻璃基材表面處理、金屬基材表面處理等。
等離子的表面粗化處理又稱等離子表面刻蝕，其目的是提升材料表面的粗糙度，以增加粘接、印刷、焊接等工藝結(jié)合力，經(jīng)氬等離子表面處理后的表面張力會明顯提升。活性氣體所產(chǎn)生的等離子體也可以增加表面的粗糙度，但氬氣電離后產(chǎn)生的粒子相對較重，氬離子在電場的作用下的動能會明顯高于活性氣體，所以其粗化效果會更加明顯，在無機物基材表面粗化工藝中應(yīng)用廣泛。如玻璃基材表面處理、金屬基材表面處理等。
三、氬等離子表面處理對活性氣體輔助
因為氬氣的分子比較大，電離后產(chǎn)生的粒子比較后，在進行等離子表面清洗和活化時通常會配合活性氣體混合使用，常見的就是氬氣和氧氣的混合。氧氣為高活性氣體，可有效的對有機污染物或有機基材表面進行化學(xué)分解，但其粒子相對較小，斷鍵和轟擊能力有限，如加上一定比例的氬氣，那么所產(chǎn)生的等離子體對有機污染物或有機基材表面的斷鍵和分解能力就會更強，加快清洗和活化的效率。
氬氣與氫氣混合應(yīng)用在打線和打鍵工藝中，除增加焊盤粗糙度外，還可以有效去除焊盤表面的有機污染物，同時對表面的輕微氧化進行還原，在半導(dǎo)體封裝和SMT等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。
下圖分別為氬氣與氫氣混合產(chǎn)生的等離子體及氬氣與氧氣混合產(chǎn)生的等離子體。
因為氬氣的分子比較大，電離后產(chǎn)生的粒子比較后，在進行等離子表面清洗和活化時通常會配合活性氣體混合使用，常見的就是氬氣和氧氣的混合。氧氣為高活性氣體，可有效的對有機污染物或有機基材表面進行化學(xué)分解，但其粒子相對較小，斷鍵和轟擊能力有限，如加上一定比例的氬氣，那么所產(chǎn)生的等離子體對有機污染物或有機基材表面的斷鍵和分解能力就會更強，加快清洗和活化的效率。
氬氣與氫氣混合應(yīng)用在打線和打鍵工藝中，除增加焊盤粗糙度外，還可以有效去除焊盤表面的有機污染物，同時對表面的輕微氧化進行還原，在半導(dǎo)體封裝和SMT等行業(yè)中被廣泛應(yīng)用。
下圖分別為氬氣與氫氣混合產(chǎn)生的等離子體及氬氣與氧氣混合產(chǎn)生的等離子體。
以上就是氬氣等離子表面處理的功能與應(yīng)用的簡單介紹，如果您想要了解更多關(guān)于等離子表面處理設(shè)備的詳細內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
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