真空等離子清洗機真空泵如何控制?
文章導讀:真空等離子清洗機是一種在真空環(huán)境中進行等離子表面處理的設備,相對于大氣環(huán)境下進行處理,一個相對比較穩(wěn)定的真空狀態(tài)能夠提高等離子處理的效果。
真空等離子清洗機的抽空主要是依靠真空泵來完成的,真空等離子清洗機屬在線式的和手拉門式的較為常見,所使用的真空泵有一個泵的也有兩個泵的,都是通過觸摸屏進行操作控制,控制模式分手動控制和自動控制。

1.手動控制方式
真空等離子設備的手動控制是通過按下觸摸屏上相應的虛擬按鈕即真空泵開啟。硬件按鈕驅動的是繼電器線圈,而觸摸屏按鈕驅動的是控制器軟元件,控制器通過邏輯計算把結果輸出到控制器的輸出端,驅動中間繼電器動作,中間繼電器的觸點通斷驅動真空泵交流接觸器的線圈的觸點通斷,從而控制真空泵電機三相電的通斷。
真空等離子設備的手動控制是通過按下觸摸屏上相應的虛擬按鈕即真空泵開啟。硬件按鈕驅動的是繼電器線圈,而觸摸屏按鈕驅動的是控制器軟元件,控制器通過邏輯計算把結果輸出到控制器的輸出端,驅動中間繼電器動作,中間繼電器的觸點通斷驅動真空泵交流接觸器的線圈的觸點通斷,從而控制真空泵電機三相電的通斷。

2.自動控制方式
自動控制是按下自動按鈕即所有動作按序自動執(zhí)行,真空泵的啟停是通過相應的邏輯條件穿插在整個工藝控制流程當中。
不管是手動控制還是自動控制,要想把真空度維持在某一數(shù)值,單獨靠流量計來調節(jié)是無法滿足要求的。腔體抽空是靠真空泵來抽取的,如果能夠很靈活地控制真空泵電機的轉速,腔體的真空度就能夠很容易的控制在設定范圍之內(nèi)。當腔體真空度小于或大于設定值的時候,真空泵電機的轉速根據(jù)計算會自動調節(jié),使電機轉速維持在設定真空度轉速的范圍之內(nèi);當腔體真空度受到其他因素的影響,實際真空度和設定真空度之間只要有偏差,程序就會自動計算,使真空泵的轉速自動調節(jié)到能夠維持設定真空值的轉速范圍之內(nèi),這種控制叫做PID控制。
自動控制是按下自動按鈕即所有動作按序自動執(zhí)行,真空泵的啟停是通過相應的邏輯條件穿插在整個工藝控制流程當中。
不管是手動控制還是自動控制,要想把真空度維持在某一數(shù)值,單獨靠流量計來調節(jié)是無法滿足要求的。腔體抽空是靠真空泵來抽取的,如果能夠很靈活地控制真空泵電機的轉速,腔體的真空度就能夠很容易的控制在設定范圍之內(nèi)。當腔體真空度小于或大于設定值的時候,真空泵電機的轉速根據(jù)計算會自動調節(jié),使電機轉速維持在設定真空度轉速的范圍之內(nèi);當腔體真空度受到其他因素的影響,實際真空度和設定真空度之間只要有偏差,程序就會自動計算,使真空泵的轉速自動調節(jié)到能夠維持設定真空值的轉速范圍之內(nèi),這種控制叫做PID控制。

P是比列作用,I是積分作用,D是微分作用。PID既有比例作用的及時迅速,又有積分作用的偏差消除,還有微分作用的超前微調功能。當偏差階躍出現(xiàn)時,微分立即大幅度動作,yi制偏差的這種躍變;比例也同時起消除偏差的作用,使偏差幅度減小,由于比例作用是持久和起主要作用的控制規(guī)律,因此可使腔體真空度變得比較穩(wěn)定;而積分作用慢慢把偏差克服掉。只要三個作用的控制參數(shù)調試得當,就可以充分發(fā)揮三種控制規(guī)律的優(yōu)點,得到一種理想的控制效果。

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