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立昂微成功拉制12英寸硅單晶棒

返回列表 來(lái)源：普樂(lè)斯 瀏覽：次 發(fā)布日期：2019-07-09 10:37【大 中 小】
文章導(dǎo)讀：7月2日上午，在立昂微子公司金瑞泓微電子（衢州）有限公司寬闊明亮的現(xiàn)代化標(biāo)準(zhǔn)單晶廠房?jī)?nèi)，一根長(zhǎng)1.5米、兩頭呈錐形，重達(dá)270公斤，通體如烏金般發(fā)亮的12英寸半導(dǎo)體級(jí)硅單晶棒在經(jīng)過(guò)100多個(gè)小時(shí)的連續(xù)超高溫融化生長(zhǎng)后順利出爐，這標(biāo)志著立昂微半導(dǎo)體硅材料業(yè)務(wù)板塊的12英寸大硅片產(chǎn)業(yè)化布局取得了初步成效，在最核心最關(guān)鍵的拉晶環(huán)節(jié)取得了重大技術(shù)突破。

業(yè)內(nèi)人士都知道，硅單晶棒是生產(chǎn)硅片的關(guān)鍵性步驟，拉晶過(guò)程是硅片制造的重中之重，核心技術(shù)中的核心，對(duì)工藝、材料和設(shè)備的要求極高，之后再經(jīng)切割、研磨、清洗、拋光以及外延等數(shù)十道工序制備成硅拋光片或硅外延片，然后成為芯片的“地基“。硅片直徑越大對(duì)材料和技術(shù)的要求越高，制造難度也越大。國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上12英寸半導(dǎo)體硅片幾乎全部是進(jìn)口，究其原因是國(guó)內(nèi)掌握相關(guān)生產(chǎn)技術(shù)的幾乎沒(méi)有。晶圓加工過(guò)程中所需的設(shè)備也是如此，絕大部分都是國(guó)外設(shè)備，普樂(lè)斯的國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)在晶圓加工環(huán)節(jié)起到的主要作用是對(duì)晶圓表面的超潔凈清洗以及去除光刻膠的殘留。

晶圓級(jí)真空等離子設(shè)備-普樂(lè)斯等離子清洗機(jī)

 

據(jù)了解，立昂微是我國(guó)少有的具有硅單晶錠、硅研磨片、硅拋光片、硅外延片及芯片制造的完整產(chǎn)業(yè)鏈的集成電路企業(yè)，涉及半導(dǎo)體硅材料、半導(dǎo)體功率器件、集成電路制造三大業(yè)務(wù)板塊，其中半導(dǎo)體硅材料作為立昂微最核心的業(yè)務(wù)板塊之一，早在2016年底就在浙江衢州投資建設(shè)了除寧波以外的第二個(gè)半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)基地，先后成立了金瑞泓科技（衢州）有限公司和金瑞泓微電子（衢州）有限公司。

12英寸硅單晶圓棒-普樂(lè)斯等離子清洗機(jī)

該基地經(jīng)過(guò)近一年的建設(shè)，8英寸硅外延生產(chǎn)線在2018年4月建成投產(chǎn)并實(shí)現(xiàn)批量銷(xiāo)售，8英寸的單晶、切、磨、拋廠房也將在2019年三季度建成投產(chǎn)，屆時(shí)將全線拉通8英寸硅單晶、硅拋光片、硅外延片生產(chǎn)線。而今，隨著12英寸硅單晶棒的技術(shù)突破，將有效帶動(dòng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上高端產(chǎn)品的發(fā)展，有利于我國(guó)逐漸提升在半導(dǎo)體硅材料上的競(jìng)爭(zhēng)新優(yōu)勢(shì)，也將形成良好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，推動(dòng)行業(yè)不斷進(jìn)步，共同推進(jìn)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化加快發(fā)展。

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    ‌高效徹底‌：能夠深入微納米級(jí)孔隙中，徹底清除難以觸及的污染物。

    ‌環(huán)保節(jié)能‌：無(wú)需使用化學(xué)溶劑，減少?gòu)U水廢氣排放，符合綠色生產(chǎn)要求，且能耗低。

    ‌廣泛適用‌：適用于多種材料表面，包括金屬、陶瓷、玻璃、塑料等，不會(huì)對(duì)材料性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

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