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【普樂斯】蘇州等離子去膠機 ASR-36LN01

品牌：普樂斯

名稱：蘇州等離子去膠機

型號：ASR-36LN01

功率：整機峰值功率13KW

用途：用于去除基片表面刻蝕工藝過程中作為刻蝕材料保護膜的光刻膠掩膜,也可用于基片表面其它有機物的等離子體清洗。

訂購熱線：400-816-9009

咨詢熱線：400-816-9009

產(chǎn)品特點

v數(shù)字及圖標多重工藝參數(shù)實時顯示
v三色燈異常報警功能
v自動/手動操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v遠程操控，數(shù)據(jù)導出（可選）
v模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大

咨詢熱線：400-816-9009

產(chǎn)品參數(shù)

型號		ASR-36LN01
控制系統(tǒng)	控制方式	全自動控制（自動/手動切換）
		PLC（標配）/PC（可選）
	操作系統(tǒng)	Windows 10
	觸摸屏	7寸
整機規(guī)格	尺寸	W950×D1050×H1700mm
腔體	尺寸	Φ360×D360mm
	材質	鋁合金（標配）/不銹鋼（可選）
電極	尺寸	W250×D310×H140mm
	層數(shù)	2層
托架	材質	鋁合金（標配）/石英（可選）
	套數(shù)	1套
真空計	皮拉尼式真空計	1個
流量計	MFC質量流量控制器	3個；Ar、N₂、O₂、CF₄（可選）
真空泵	干式泵	1套
發(fā)生器	射頻	13.56MHz，0~1000W
額定功率	整機峰值功率	13KW
機臺供電	三相五線式	AC-380V
選購品	防腐流量計、防腐真空計、防腐真空泵、防腐密封圈、石英舟、溫度傳感器、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標法蘭、陶瓷緊固件

注：以上參數(shù)僅供參考，本公司可能對相關產(chǎn)品參數(shù)進行調整，如有變動，恕不再另行通知。若有不明處，歡迎來電詢問。

咨詢熱線：400-816-9009

工作原理

在真空狀態(tài)下，壓力越來越小，分子間間距越來越大，分子間力越來越小，等離子清洗設備利用高頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的等離子體，然后與有機污染物及微顆粒污染物反應或碰撞形成揮發(fā)性物質，然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質清除出去，從而達到表面清潔、活化等目的。如圖所示：